Forschungsschwerpunkt "Nanostrukturierte Materialien"

Dipl.-Phys. Frank Altmann

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Geförderte Projekte im Exzellenzcluster (07/2005-06/2008)

Halbleiternanodrähte auf Templaten (NW1)
- Halbleiternanodrähte auf geordneten Nanotemplaten: Komponenten für eine nanoskalige Elektronik und Sensorik
Verzerrungszustände in Nanostrukturen (NW5)
- Dreidimensionale Verzerrungszustände in Nanostrukturen: Experimentelle Vermessung und numerische Simulationen

Arbeitsgebiete

diagnostic at semiconductor technologies and technology optimization,
thermal failure localisation,
focused ion beam preparation techniques,
precise mechanical preparation methods,
thermo-mechanical simulation.

Publikationen

E. Langer, F. Altmann, D. Katzer, W. Neumann, "Strain measurement by means of convergent beam electron diffraction in submicron volumes", Proc. of the Int. Conf. and Exhibition, Micro Mat 97 1997, April 16-18, 1115-1117
F. Altmann, F, D. Katzer, "Cross-sectional preparation from ICs downside for SEM and TEM failure analysis using focused ion beam etching", Thin solid films 343-344 (1999) 609-611
A. Heilmann, F. Altmann, D. Katzer, F. Müller, Th. Sawitowski, G. Schmid, "Determination of the pore size and vertical structure of nanoporous aluminium oxide membranes", Applied Surface Science, 144-145, 1999, 682-685
Breitenstein, F. Altmann, "Lokalisierung von Gate-Leckströmen in FETs mit Lock-in-Thermographie", Spectrum, Ausgabe 77, Oktober 1999, S. 6
Breitenstein, M. Langenkamp, F. Altmann, D. Katzer, A. Lindner, E. Eggers, "Microscopic lock in thermography investigation of leakage sites in integrated circuits", Rev. of Scientific Instruments, 71 (2000), 4155-4160
F. Altmann, "FIB-Zielpräparation von TEM-Proben mittels Nadelmanipulationstechnik", Praktische Metallographie 40 (2003) 175-183 (M98/2003)
F. Altmann, "Fault Localisation of ICs by Lock-in Fluorescent Microthermal Imaging (Lock-in FMI)", Tagung Quantitative Infrared Thermography QIRT, Rhode Saint Genèse, Belgium, 5.-8. Juli 2004
F. Altmann, "TEM-Zielpräparation unter REM-Beobachtung mit der Zeiss NTS Crossbeam", Praktische Metallographie 42 (2005)
A. Heilmann, F. Altmann, D. Katzer, F. Müller, Th. Sawitowski, G. Schmid, "Determination of the pore size and vertical structure of nanoporous aluminium oxide membranes", Applied Surface Science, 144-145, 1999, 682-685
S. Huth, O. Breitenstein, A. Huber, D. Danz, U. Lambert, F. Altmann, "Lock-In IR-Thermography - A novel tool for material and device characterization", Solid State Phenomena 82-84 (2002), 741-746